DUMMY LOAD PORT
無塵室內8或12吋晶圓傳送盒(FOUP – Cassete)的運輸站，為抗靜電材質，可防震及快拆，並可依需求客製化
無塵室內8或12吋晶圓傳送盒(FOUP – Cassete)的運輸站，為抗靜電材質，可防震及快拆，並可依需求客製化
Product Name | Dummy Load port |
|---|---|
Model | |
環境操作溫度 | 5°C ~ 55°C |
保存環境溫度 | 0°C ~ 70°C
無腐蝕性氣體 |
保存/操作環境溼度 | 10% ~ 90% |
重量 | 約45 kg |
長寬高 (mm) | L 484 / W 460 / H 1584 |
供應電源電壓 | 110 V |
指示燈
| Placement 1
Presence 1 夾貨燈 1 Alarm燈 1 Auto燈 1 Manual燈 1 |
按鈕
| EMO 1 |
Signal Tower
| 紅燈 1
黃燈 1 綠燈 1 |
盤面配置
| Placement Sensor 2
Presence Sensor 1 Smart Tag Reader 1 |
