DUMMY LOAD PORT
无尘室内8或12吋晶圆传送盒(FOUP – Cassete)的运输站，为抗静电材质，可防震及快拆，并可依需求客制化
Product Name | Dummy Load port |
|---|---|
Model | |
环境操作温度 | 5°C ~ 55°C |
保存环境温度 | 0°C ~ 70°C
无腐蚀性气体 |
保存/操作环境湿度
、 | 10% ~ 90% |
重量 | 約45 kg |
长/宽/高 | L 484 / W 460 / H 1584 |
供应电源电压 | 110 V |
指示灯 | Placement 1
Presence 1 夹货灯 1 Alarm灯 1 Auto灯 1 Manual灯 1 |
按钮 | EMO 1 |
Signal Tower
| 紅灯 1
黃灯 1 綠灯 1 |
盘面配置
| Placement Sensor 2
Presence Sensor 1 Smart Tag Reader 1 |
