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AMHS Equipment
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OHC/OHB
OHC/OHB
OHB(Overhead Hoist Buffer),即顶置起重机缓冲器,是AMHS系统中安装在厂房天花板上的机械装置,用于储存和运送半导体制程中的物料。它提供物料的暂存和缓冲区,确保制造过程中物料供应和流程顺畅。 OHB具备起重机功能,根据需要将物料从储存位置运送到制程设备或其他处理站点,同时也可以将已处理的物料运送回储存位置。在自动化物料运送中扮演关键角色,提高生产效率并降低错误率。
Product Name
OHC/OHB
Model
Description
Specifications
OHC/OHB
CARRIER STATUS MONITOR TOOL
DUMMY LOAD PORT
300MM LOAD PORT
N2 PURGE LOAD PORT(N2P)
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