產品與核心技術

AMHS 自動物料搬運系統，包含「E84通訊系統及相關設備」、「OHT耗材」，「300mm Loadport」，「NPS, OHB/OHC系統整合」等產品及服務，主要應用於半導體無塵室工廠，提供各型晶圓盒自動搬運與儲存機能。